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中华民国建国初期，承袭清朝旧制。不同之处在于废除府， 将所有不管县的州、厅全改为县，1914年时在省县之间设置93个道。 当时的省份依当时顺序排列，有直隶、奉天、吉林、黑龙江、山东、 河南、山西、江苏、安徽、江西、福建、浙江、湖北、湖南、陕西、 甘肃、新疆、四川、广东、广西、云南、贵州等22省。 北洋政府在22个省之外设了京兆地方、热河、察哈尔、绥远、川边等几个特别区域， 西藏、外蒙古、青海3个地方，另保留阿尔泰、塔尔巴哈台、伊犛3地区（后均并入新疆省）。
1928年北伐后，国民政府废除了道，另外设立了专署（即行政督察区）， 作为省的派出机构，一个专署管理十几个县。国民政府北伐后， 改直隶、奉天2省为河北、辽宁，并京兆特别区入河北， 将热河、察哈尔、绥远、川边、宁夏、青海改建为6个省（川边特别区改建西康省）， 总计28个省，另外加上西藏、蒙古2个地方， 以及分自俄、英收回的东省特别区、威海卫行政区。 国民政府并设立特别市（即直辖市）， 先后设置南京、上海、北平、天津、青岛、武汉（后改名为汉口）、 广州(后降为省辖市，抗战胜利后再升格)、 西京（后降为省辖市，抗战胜利后改称西安并再升格）、 重庆（抗战时期设置）等9个特别市。此外，东北政务委员会自设兴安屯垦区， 西南政务委员会曾一度设立琼崖特别区，马仲英则一度自设河西省， 惟除了琼崖特别区系获国民政府报准外，均为地方私设省级政区。
1945年对日抗战胜利后， 中华民国政府将原东北三省根据满洲国时期的行政区划改划分成东北九省， 增设辽北、安东、合江、松江、嫩江、兴安等6省及沈阳、大连、哈尔滨等3个直辖市。 对日抗战的胜利，使中华民国政府收复台湾，成为35行省之一。 中华民国政府并将海南岛设立海南特别行政区，作为建省之准备。